北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司全資子公司北京七星華創(chuàng)流量計有限公司始終以技術創(chuàng)新為基點，為客戶提供流量測控解決方案，并致力于成為國際領先的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品服務商。為了更好地滿足半導體領域對氣體流量、壓力等方面的控制需求，七星流量計從客戶需求出發(fā)，不斷推出系列新品，幫助客戶提升使用性能。

CS500壓力式氣體質(zhì)量流量控制器，主要是針對先進半導體技術發(fā)展趨勢，研發(fā)生產(chǎn)適用于高端大規(guī)模集成電路設備的產(chǎn)品。該產(chǎn)品采用壓力傳感器技術，具有壓力不敏感、零點漂移小、控制精度高、響應時間快等優(yōu)點；采用壓電閥技術，利用壓電陶瓷在電壓作用下產(chǎn)生彎曲變形而制成控制閥，具備響應時間快、不發(fā)熱、驅動力大、結構簡單等優(yōu)點，符合半導體大規(guī)模集成電路制造的要求。CS500大幅提升了氣體質(zhì)量流量的控制、測量的準確度及可靠性。

P100反應腔室壓力控制器，是七星流量計最新研發(fā)的產(chǎn)品。該產(chǎn)品用于穩(wěn)定腔室內(nèi)的壓力，使氣體分子沉積均勻，實現(xiàn)晶圓膜厚度的一致性。在半導體領域以及真空鍍膜等領域有著重要的作用。P100產(chǎn)品主要采用316L不銹鋼和聚四氟乙烯（PTFE）材料制成，接觸氣體的部分采用PTFE材料，提高產(chǎn)品的耐腐蝕性和使用壽命。采用步進電機控制蝶閥結合PID閉環(huán)控制算法，自主研發(fā)中央控制單元，通過改變閥開度實現(xiàn)對腔室內(nèi)壓力的調(diào)節(jié)。

K1000（M）產(chǎn)品是七星流量計新推出的多氣體多量程數(shù)字產(chǎn)品，用戶可在客戶端便捷地進行氣體種類和流量的變更，最大限度的為用戶減小庫存；該產(chǎn)品采用Progressive PID技術，在全量程范圍，響應速度≤1秒；其流量傳感器采用新型耐腐蝕合金，提高對氯氣類氣體的耐腐蝕性能；產(chǎn)品可支持0～5VDC模擬信號、數(shù)字信號，可通過專用軟件設定警報、監(jiān)控MFC內(nèi)部信息。

K1200、K1500產(chǎn)品是七星流量計推出的數(shù)字大流量產(chǎn)品，最高流量可達500SLM氮氣，并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式；產(chǎn)品在全量程范圍內(nèi)的響應時間不超過3秒，流量精度更高，將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差降至最小，產(chǎn)品支持DeviceNet，RS485通訊協(xié)議。